三种晶格缺陷是()、()和()。

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  题目:三种晶格缺陷是()、()和()。

  题型:[填空题]

  参考答案:

  
 

  
 

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  1、在离子注入掺杂时,有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离,这种现象就是 。 2、入射离子的能量大于 时,可发生级联碰撞。 3、离子注入所引起的简单或复杂的缺陷统称为晶格损伤,损伤有三种: 、 、 ,前两种为简单晶格损伤 4、离子注入晶格出现非晶层的剂量称为: 。 5、(判断)离子注入硅片后,注入区的电阻率基本不变。 6、(判断)实际掺杂常将离子注入和热扩散相结合使用。 7、(判断)离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。 8、(判断)形成B的超浅结掺杂(剂量为QB)时,为了避免沟道效应可否先注入锑(剂量为QSb)再注入硼? 9、离子注入后退火的目的主要有 ; 。 10、实际上,热退火温度比热扩散时的温度要低得多。在退火温度下,对于完美晶体中的杂质来说,扩散系数是很小的,甚至可以忽略。但是,对于注入区的杂质,即使在比较低的温度下,杂质扩散效果也是非常显著的。这是因为离子注入的晶格损伤造成硅内 的缘故,使扩散系数 ,扩散效应 。 11、离子注入时查看答案请关注【快跑搜题】微信公众号,发送题目即可获取第4题

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